Park NX20 300mm原子力显微镜

Park NX20 300mm原子力显微镜是业界创新型大样品原子力显微镜，支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计，可有效地检测整个300mm晶圆，且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台，但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

可用于 300mm晶片圆测量和分析的自动化纳米测量工具

·支持200mmx200mm或300mmx300mm的全自动原子力显微镜

·无需手动移动样品即可实现样品上每个点的精密测量

·Park NX20300 mm是专为失效分析和质量品控设计

·工业测试软件可以实现样品的全自动化批量测量，使得NX20检测过程变得高效易用

专为大样品晶圆检测而建

NX20 300 mm进行了全新设计，可达到大样品的高精度测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围，让工程师可以更快捷、更简便、更精准地开展工作。

灵活的300mm样品吸盘

Park NX20 300mm真空吸盘支持各种尺寸、形状和类型的晶圆，让用户几乎可准确扫描任何样品。

300mm XY轴工作台

机动化的300mm XY轴工作台允许用户在300mm的全部区域内移动原子力显微镜的测量位置。

针对广泛应用性进行优化

Park NX20 300mm原子力显微镜为众多应用提供自动格式的原子力显微镜测量，为纳米级的样品提供精准测量和分析。具有粗糙度、高度和深度测量，缺陷检查，电气和磁故障分析，热性能表征和纳米力学性能成像等能力，该原子力显微镜是检测大样品的FA、QA和QC工程师执行各种任务的理想选择。