Park NX-Hivac高真空原子力显微镜通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点，因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应，例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。

Park NX20原子力显微镜作为缺陷形貌分析的精密测量仪器，可进行大型样品精密测量并凭借着高精准的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

Park NX20 300mm原子力显微镜是业界创新型大样品原子力显微镜，支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计，可有效地检测整个300mm晶圆，且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台，但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

Park NX15原子力显微镜不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验，也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。

Park NX12原子力显微镜力求重新构建，以适应许多用户设备需求。其他原子力显微镜解决方案缺乏必要的多功能性，难以满足该设备中用户的多重需求，很难合理控制设备成本。然而，Park NX12旨在能够容纳标准环境原子力显微镜成像，液体扫描探针显微镜，光学和纳米光学成像，使其成为灵活的原子力显微镜之一。

Park NX7原子力显微镜 配有Park原子力显微镜前沿技术，其设计与新型显微镜一样彰显细节品质，可以有效助您取得精准的研究成果。